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一种晶圆检测方法、设备和存储介质
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411850829.0
申请日：
2024-12-16
公开(公告)号：
CN119314894A
公开(公告)日：
2025-01-14
发明(设计)人：
周磊
张庆
叶莹
申请人：
上海果纳半导体技术有限公司
申请人地址：
200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区博艺路99号、111号6幢1层101室
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623
代理人：
张聪
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20241216 |
| 2025-04-01 | 授权 | 授权 |
| 2025-01-14 | 公开 | 公开 |