一种集成电路用KOH显影液组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411856537.8

申请日：

2024-12-17

公开(公告)号：

CN119439656A

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

刘小勇邱小真黄晓莉房龙翔肖小江刘文生

申请人：

福建省佑达环保材料有限公司

申请人地址：

362800 福建省泉州市泉港区南埔镇石化园区南山片区天盈路8号

IPC主分类号：

G03F7/32

IPC分类号：

代理机构：

福州元创专利商标代理有限公司 35100

代理人：

修斯文;蔡学俊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

福建省泉州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/32申请日:20241217
2025-02-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于集成电路的厚膜光刻胶显影液组合物 [P].

刘小勇 ;

黄晓莉 ;

房龙翔 ;

叶鑫煌 ;

肖小江 ;

刘文生 .

中国专利 :CN115981118B ,2025-09-19

[2]

一种半导体集成电路用显影液 [P].

江磊 ;

金旭 .

中国专利 :CN103955120A ,2014-07-30

[3]

一种显影液组合物 [P].

刘江华 ;

付元涛 ;

章小琴 .

中国专利 :CN110658697A ,2020-01-07

[4]

一种用于集成电路的正性光刻胶显影液组合物 [P].

刘小勇 ;

黄晓莉 ;

房龙翔 ;

叶鑫煌 ;

肖小江 ;

刘文生 ;

李金鑫 .

中国专利 :CN118884787A ,2024-11-01

[5]

一种显影液组合物 [P].

马晓明 ;

王健 ;

杨晓松 .

中国专利 :CN114265289A ,2022-04-01

[6]

一种高浓度显影液原液组合物 [P].

王涛 ;

陈炼 ;

韩超伦 .

中国专利 :CN109062015A ,2018-12-21

[7]

一种显影液组合物 [P].

马晓明 ;

王健 ;

杨晓松 .

中国专利 :CN114265289B ,2025-03-21

[8]

平板显示用显影液组合物 [P].

梁晓 ;

唐洪 ;

田博 .

中国专利 :CN103728845B ,2014-04-16

[9]

一种用于半导体集成电路中的显影液 [P].

江磊 ;

金旭 .

中国专利 :CN103955119A ,2014-07-30

[10]

一种显影液组合物及其制备方法 [P].

刘刚 .

中国专利 :CN107219731A ,2017-09-29

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