一种半导体集成电路用显影液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410153319.8

申请日：

2014-04-17

公开(公告)号：

CN103955120A

公开(公告)日：

2014-07-30

发明(设计)人：

江磊金旭

申请人：

申请人地址：

215021 江苏省苏州市苏州工业园区龙潭路206号

IPC主分类号：

G03F732

IPC分类号：

代理机构：

苏州广正知识产权代理有限公司 32234

代理人：

徐萍

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-07-30	公开	公开
2018-02-09	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/32 申请公布日:20140730
2014-08-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101586362462 IPC(主分类):G03F 7/32 专利申请号:2014101533198 申请日:20140417

共 50 条

[1]

一种用于半导体集成电路中的显影液 [P].

江磊 ;

金旭 .

中国专利 :CN103955119A ,2014-07-30

[2]

一种芯片集成电路四甲基氢氧化铵显影液用非离子表面活性剂的提纯方法及其显影液 [P].

李潇逸 ;

邢攸美 ;

方伟华 ;

倪芸岚 ;

尹云舰 ;

高立江 .

中国专利 :CN112859551A ,2021-05-28

[3]

一种集成电路用KOH显影液组合物 [P].

刘小勇 ;

邱小真 ;

黄晓莉 ;

房龙翔 ;

肖小江 ;

刘文生 .

中国专利 :CN119439656A ,2025-02-14

[4]

半导体集成电路制造方法及半导体集成电路 [P].

赵保军 .

中国专利 :CN109979875A ,2019-07-05

[5]

平板显示用显影液 [P].

冯卫文 .

中国专利 :CN101566804B ,2009-10-28

[6]

一种平板显示用显影液 [P].

冯卫文 .

中国专利 :CN101872136B ,2010-10-27

[7]

集成电路制造方法及半导体集成电路 [P].

岩桥大辅 ;

东岛胜义 ;

清原督三 .

中国专利 :CN102473198A ,2012-05-23

[8]

半导体集成电路 [P].

古泽敏行 ;

薗田大资 ;

宇佐美公良 ;

河邉直之 ;

小泉正幸 ;

座间英匡 ;

金泽正博 .

中国专利 :CN1347197A ,2002-05-01

[9]

半导体集成电路 [P].

吉多·德罗奇 ;

尼克拉斯·林克维奇 ;

查尔斯·约瑟夫·德迪克 ;

扬·朱索·德迪克 .

中国专利 :CN110061741A ,2019-07-26

[10]

半导体集成电路 [P].

面一幸 .

中国专利 :CN1561577A ,2005-01-05

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