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金属-绝缘体-金属电容器及其制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310948111.4
申请日：
2023-07-31
公开(公告)号：
CN119451562A
公开(公告)日：
2025-02-14
发明(设计)人：
李浩业 林宏 陈武佳 蔡巧明
申请人：
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
申请人地址：
201807 上海市嘉定区娄陆公路497号
IPC主分类号：
H10N97/00
IPC分类号：
H01L23/64 H01L23/522
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
张亚静
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
上海市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-03-04 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H10N 97/00申请日:20230731
2025-02-14 公开 公开
共 50 条
[1]
金属-绝缘体-金属电容器及其制造方法 [P]. 
王媛 ;
张步新 .
中国专利 :CN101819922A ,2010-09-01
[2]
金属-绝缘体-金属电容器及其制造方法 [P]. 
姜明一 .
中国专利 :CN101378057B ,2009-03-04
[3]
金属-绝缘体-金属电容器及其制造方法 [P]. 
洪海涵 .
中国专利 :CN120659529A ,2025-09-16
[4]
金属-绝缘体-金属电容器的制造方法 [P]. 
杨佳澄 ;
袁宇 .
中国专利 :CN120613307A ,2025-09-09
[5]
金属-绝缘体-金属电容器结构及其制造方法 [P]. 
陈杰恩 ;
林政贤 ;
丁世汎 ;
翁伟智 ;
林杏芝 ;
杨敦年 .
中国专利 :CN118843390A ,2024-10-25
[6]
金属-绝缘体-金属电容器结构及其制造方法 [P]. 
张庆福 ;
林宏 .
中国专利 :CN120603484A ,2025-09-05
[7]
金属绝缘体金属电容器及其制造方法 [P]. 
裵铉洙 .
中国专利 :CN101335268A ,2008-12-31
[8]
金属－绝缘体－金属电容器及其制造方法 [P]. 
朴正浩 .
中国专利 :CN101378085A ,2009-03-04
[9]
金属-绝缘体-金属电容器 [P]. 
S·陈 ;
J·T·瓦特 ;
M·C·赤安 .
中国专利 :CN102217068A ,2011-10-12
[10]
金属-绝缘体-金属电容器 [P]. 
施启元 ;
张凯峯 ;
黄士芬 ;
戴文川 ;
邓伊筌 ;
蔡易恒 ;
林佑儒 ;
陈彦文 ;
林柏燊 ;
黄富骏 ;
郑创仁 ;
吴华书 ;
胡凡 ;
林璟晖 ;
廖彦杰 .
中国专利 :CN110660781A ,2020-01-07
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