金属-绝缘体-金属电容器结构及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410248818.9

申请日：

2024-03-05

公开(公告)号：

CN120603484A

公开(公告)日：

2025-09-05

发明(设计)人：

张庆福林宏

申请人：

上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司

申请人地址：

201807 上海市嘉定区娄陆公路497号

IPC主分类号：

H10N97/00

IPC分类号：

H01L23/64 H01L23/522 H01L21/768

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

周耀君

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-05	公开	公开
2025-09-23	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H10N 97/00申请日:20240305

共 50 条

[1]

金属-绝缘体-金属电容器结构及其制造方法 [P].

陈杰恩 ;

林政贤 ;

丁世汎 ;

翁伟智 ;

林杏芝 ;

杨敦年 .

中国专利 :CN118843390A ,2024-10-25

[2]

金属-绝缘体-金属电容器及其制造方法 [P].

洪海涵 .

中国专利 :CN120659529A ,2025-09-16

[3]

金属-绝缘体-金属电容器结构 [P].

R·亚库什卡斯 ;

V·斯里尼瓦斯 ;

R·W·C·金 .

中国专利 :CN107180813B ,2017-09-19

[4]

金属-绝缘体-金属电容器结构 [P].

R·亚库什卡斯 ;

V·斯里尼瓦斯 ;

R·W·C·金 .

中国专利 :CN105324862A ,2016-02-10

[5]

金属-绝缘体-金属电容器结构 [P].

黄致凡 ;

高弘昭 ;

萧远洋 ;

萧琮介 ;

沈香谷 ;

陈蕙祺 ;

陈殿豪 ;

陈燕铭 .

中国专利 :CN110783320A ,2020-02-11

[6]

金属-绝缘体-金属电容器及其制造方法 [P].

李浩业 ;

林宏 ;

陈武佳 ;

蔡巧明 .

中国专利 :CN119451562A ,2025-02-14

[7]

金属-绝缘体-金属电容器及其制造方法 [P].

王媛 ;

张步新 .

中国专利 :CN101819922A ,2010-09-01

[8]

金属-绝缘体-金属电容器及其制造方法 [P].

姜明一 .

中国专利 :CN101378057B ,2009-03-04

[9]

金属-绝缘体-金属电容器的制造方法 [P].

杨佳澄 ;

袁宇 .

中国专利 :CN120613307A ,2025-09-09

[10]

金属‑绝缘体‑金属电容器结构及其制造方法 [P].

金海光 ;

蔡正原 ;

林杏莲 .

中国专利 :CN106711327A ,2017-05-24

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