锍鎓盐化合物、光酸产生剂、抗蚀剂组合物

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202310901539.3
申请日
2023-07-21
公开(公告)号
CN119330865A
公开(公告)日
2025-01-21
发明(设计)人
王鹏
申请人
湖北鼎龙控股股份有限公司 湖北鼎龙芯盛科技有限公司
申请人地址
430057 湖北省武汉市经济技术开发区东荆河路1号
IPC主分类号
C07C381/12
IPC分类号
C07C309/17 C07C303/32 G03F7/004
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
国省代码
安徽省 宣城市
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共 50 条
[1]
锍化合物、光致产酸剂及抗蚀剂组合物 [P]. 
吴贞薰 ;
尹队卿 ;
赵承德 ;
朴素晶 .
中国专利 :CN102911094A ,2013-02-06
[2]
锍盐、光酸产生剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物 [P]. 
中尾拓人 ;
中村友治 .
中国专利 :CN114901638A ,2022-08-12
[3]
锍盐、光酸产生剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物 [P]. 
中尾拓人 ;
高嶋祐作 .
中国专利 :CN111788181B ,2020-10-16
[4]
锍盐、光酸产生剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物 [P]. 
中尾拓人 ;
中村友治 .
日本专利 :CN114901638B ,2024-10-29
[5]
锍盐化合物、抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P]. 
万海星 ;
李兆明 ;
苏敏光 ;
汤舒嵋 .
中国专利 :CN120554265A ,2025-08-29
[6]
锍盐、光产酸剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物 [P]. 
中尾拓人 .
中国专利 :CN113286781A ,2021-08-20
[7]
芳香族锍盐化合物、光产酸剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合引发剂和阳离子聚合性组合物 [P]. 
柳泽智史 ;
户田瞳 ;
滋野浩一 ;
木村正树 .
中国专利 :CN107406403A ,2017-11-28
[8]
锍盐、光产酸剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物 [P]. 
池田卓也 ;
高嶋祐作 ;
铃木一生 .
中国专利 :CN104918914A ,2015-09-16
[9]
鎓盐类化合物,光致产酸剂、光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P]. 
王鹏 ;
欧阳吉虹 ;
高越 ;
刘敏 .
中国专利 :CN119751407A ,2025-04-04
[10]
锍化合物、抗蚀剂组合物和图案化方法 [P]. 
三井亮 ;
藤原敬之 ;
谷口良辅 ;
长谷川幸士 ;
大桥正树 .
中国专利 :CN107793337A ,2018-03-13