锍化合物、抗蚀剂组合物和图案化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710771096.5

申请日：

2017-08-31

公开(公告)号：

CN107793337A

公开(公告)日：

2018-03-13

发明(设计)人：

三井亮藤原敬之谷口良辅长谷川幸士大桥正树

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C07C38112

IPC分类号：

C07D32708 C07D33376 C07D33908 G03F7004

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

何杨

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-08	授权	授权
2018-04-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C07C 381/12 申请日:20170831
2018-03-13	公开	公开

共 50 条

[1]

锍化合物、抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

藤原敬之 ;

三井亮 ;

大桥正树 ;

谷口良辅 ;

长谷川幸士 .

中国专利 :CN109422672A ,2019-03-05

[2]

锍盐化合物、抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

万海星 ;

李兆明 ;

苏敏光 ;

汤舒嵋 .

中国专利 :CN120554265A ,2025-08-29

[3]

锍化合物、正型抗蚀剂组合物和抗蚀剂图案形成方法 [P].

井上直也 ;

大桥正树 ;

土门大将 ;

增永惠一 ;

小竹正晃 .

中国专利 :CN110878038B ,2020-03-13

[4]

锍化合物、抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

大桥正树 ;

藤原敬之 ;

谷口良辅 ;

本田和也 ;

铃木贵大 .

中国专利 :CN107935899B ,2018-04-20

[5]

锍化合物、正型抗蚀剂组合物和图案形成方法 [P].

夏元玲 ;

杨靖 .

中国专利 :CN119330864A ,2025-01-21

[6]

锍化合物、光致产酸剂及抗蚀剂组合物 [P].

吴贞薰 ;

尹队卿 ;

赵承德 ;

朴素晶 .

中国专利 :CN102911094A ,2013-02-06

[7]

锍盐、抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

藤原敬之 ;

大桥正树 ;

谷口良辅 .

中国专利 :CN107870519A ,2018-04-03

[8]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

山田健司 ;

渡边聪 .

中国专利 :CN106094450B ,2016-11-09

[9]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、化合物以及产酸剂 [P].

濑下武广 ;

内海义之 ;

川上晃也 ;

羽田英夫 ;

清水宏明 ;

中村刚 .

中国专利 :CN102344437B ,2012-02-08

[10]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法、产酸剂成分以及化合物 [P].

长峰高志 ;

远藤浩太朗 ;

生川智启 .

中国专利 :CN106980232A ,2017-07-25

← 1 2 3 4 5 →