抗蚀剂组合物和图案化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610272230.2

申请日：

2016-04-28

公开(公告)号：

CN106094450B

公开(公告)日：

2016-11-09

发明(设计)人：

山田健司渡边聪

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G03F732

IPC分类号：

G03F7039

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

杜丽利

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101690435411 IPC(主分类):G03F 7/32 专利申请号:2016102722302 申请日:20160428
2020-05-05	授权	授权
2016-11-09	公开	公开

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 .

中国专利 :CN110908243A ,2020-03-24

[2]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 .

中国专利 :CN110874014A ,2020-03-10

[3]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

佐佐见武志 .

中国专利 :CN107918248A ,2018-04-17

[4]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

佐佐见武志 .

中国专利 :CN107870518A ,2018-04-03

[5]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 .

日本专利 :CN110908242B ,2024-03-19

[6]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 .

中国专利 :CN110908242A ,2020-03-24

[7]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 .

中国专利 :CN110824838A ,2020-02-21

[8]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 .

中国专利 :CN107479326A ,2017-12-15

[9]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 ;

福岛将大 ;

本田和也 .

中国专利 :CN107544206A ,2018-01-05

[10]

化学增幅型正型抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

平野祯典 ;

柳泽秀好 .

中国专利 :CN106610566A ,2017-05-03

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