抗蚀剂组合物和图案化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710912844.7

申请日：

2017-09-30

公开(公告)号：

CN107918248A

公开(公告)日：

2018-04-17

发明(设计)人：

畠山润大桥正树佐佐见武志

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

G03F7038 G03F7004 G03F720

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

李英

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-10	授权	授权
2018-04-17	公开	公开
2018-05-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/039 申请日:20170930

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 .

中国专利 :CN110874014A ,2020-03-10

[2]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

佐佐见武志 .

中国专利 :CN107870518A ,2018-04-03

[3]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

山田健司 ;

渡边聪 .

中国专利 :CN106094450B ,2016-11-09

[4]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 .

日本专利 :CN110908242B ,2024-03-19

[5]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 .

中国专利 :CN110908242A ,2020-03-24

[6]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 .

中国专利 :CN110824838A ,2020-02-21

[7]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 .

中国专利 :CN107479326A ,2017-12-15

[8]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 .

中国专利 :CN110908243A ,2020-03-24

[9]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 ;

福岛将大 ;

本田和也 .

中国专利 :CN107544206A ,2018-01-05

[10]

抗蚀剂组合物及图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 .

中国专利 :CN110554569A ,2019-12-10

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