抗蚀剂组合物和图案化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710421640.3

申请日：

2017-06-07

公开(公告)号：

CN107479326A

公开(公告)日：

2017-12-15

发明(设计)人：

畠山润大桥正树

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

C07C38112 C07D33376 C07D27920 C07D32708 C07C6370 C07C6505 C07C27128 C07C23354 C07C6982 C07C6940 C07C69732 C07C69773 C07C69035 C07C30906 C07C20558

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

杜丽利

法律状态：

授权

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 .

中国专利 :CN110874014A ,2020-03-10

[2]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

佐佐见武志 .

中国专利 :CN107870518A ,2018-04-03

[3]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 .

日本专利 :CN110908242B ,2024-03-19

[4]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 .

中国专利 :CN110908242A ,2020-03-24

[5]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 .

中国专利 :CN110824838A ,2020-02-21

[6]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 .

中国专利 :CN110908243A ,2020-03-24

[7]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 ;

福岛将大 ;

本田和也 .

中国专利 :CN107544206A ,2018-01-05

[8]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

佐佐见武志 .

中国专利 :CN107918248A ,2018-04-17

[9]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

山田健司 ;

渡边聪 .

中国专利 :CN106094450B ,2016-11-09

[10]

抗蚀剂组合物及图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 .

中国专利 :CN110554569A ,2019-12-10

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-03	授权	授权
2017-12-15	公开	公开
2018-01-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20170607