锍化合物、抗蚀剂组合物和图案化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810970031.8

申请日：

2018-08-24

公开(公告)号：

CN109422672A

公开(公告)日：

2019-03-05

发明(设计)人：

藤原敬之三井亮大桥正树谷口良辅长谷川幸士

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C07C38112

IPC分类号：

C07D33376 C08F22018 C08F22032 G03F720 G03F7004

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

杜丽利

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C07C 381/12 申请日:20180824
2019-03-05	公开	公开
2021-08-20	授权	授权

共 50 条

[1]

锍化合物、抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

三井亮 ;

藤原敬之 ;

谷口良辅 ;

长谷川幸士 ;

大桥正树 .

中国专利 :CN107793337A ,2018-03-13

[2]

锍化合物、正型抗蚀剂组合物和抗蚀剂图案形成方法 [P].

井上直也 ;

大桥正树 ;

土门大将 ;

增永惠一 ;

小竹正晃 .

中国专利 :CN110878038B ,2020-03-13

[3]

锍化合物、抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

大桥正树 ;

藤原敬之 ;

谷口良辅 ;

本田和也 ;

铃木贵大 .

中国专利 :CN107935899B ,2018-04-20

[4]

锍化合物、正型抗蚀剂组合物和图案形成方法 [P].

夏元玲 ;

杨靖 .

中国专利 :CN119330864A ,2025-01-21

[5]

锍盐化合物、抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

万海星 ;

李兆明 ;

苏敏光 ;

汤舒嵋 .

中国专利 :CN120554265A ,2025-08-29

[6]

锍盐、抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

藤原敬之 ;

大桥正树 ;

谷口良辅 .

中国专利 :CN107870519A ,2018-04-03

[7]

化合物,树脂,抗蚀剂组合物和用于制备抗蚀剂图案的方法 [P].

桥本和彦 ;

市川幸司 .

中国专利 :CN102001926A ,2011-04-06

[8]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 .

中国专利 :CN110824839A ,2020-02-21

[9]

抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

畠山润 ;

大桥正树 ;

藤原敬之 .

中国专利 :CN110824838A ,2020-02-21

[10]

锍盐、聚合物、抗蚀剂组合物和图案化方法 [P].

大桥正树 ;

畠山润 ;

阿达铁平 .

中国专利 :CN109307985B ,2019-02-05

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