化合物,树脂,抗蚀剂组合物和用于制备抗蚀剂图案的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010269794.3

申请日：

2010-08-31

公开(公告)号：

CN102001926A

公开(公告)日：

2011-04-06

发明(设计)人：

桥本和彦市川幸司

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

C07C4984

IPC分类号：

C07C6984 C07C69773 C07C6992 C07C6954 C07C6996 C08F22030 G03F7039 G03F700

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

陈平

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-17	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101573605175 IPC(主分类):C07C 49/84 专利申请号:2010102697943 申请公布日:20110406
2011-04-06	公开	公开

共 50 条

[1]

树脂，抗蚀剂组合物和用于制造抗蚀剂图案的方法 [P].

市川幸司 ;

釜渊明 ;

向井优一 .

中国专利 :CN102002121A ,2011-04-06

[2]

化合物、树脂、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法 [P].

市川幸司 ;

吉田勋 .

中国专利 :CN102786419A ,2012-11-21

[3]

树脂、抗蚀剂组合物和抗蚀图案的制造方法 [P].

杉原昌子 ;

西村崇 .

中国专利 :CN114995059A ,2022-09-02

[4]

树脂、抗蚀剂组合物和抗蚀图案的制造方法 [P].

杉原昌子 ;

西村崇 .

中国专利 :CN106019832B ,2016-10-12

[5]

树脂和抗蚀剂组合物 [P].

市川幸司 ;

藤裕介 ;

山口训史 .

中国专利 :CN101928369A ,2010-12-29

[6]

抗蚀剂组合物及抗蚀图案的制造方法 [P].

杉原昌子 ;

中西润次 .

日本专利 :CN106019831B ,2024-04-16

[7]

抗蚀剂组合物及抗蚀图案的制造方法 [P].

杉原昌子 ;

中西润次 .

中国专利 :CN106019831A ,2016-10-12

[8]

用于抗蚀剂的树脂、正性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 [P].

林亮太郎 ;

羽田英夫 ;

岩井武 .

中国专利 :CN1832971A ,2006-09-13

[9]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法、新型化合物及其制法 [P].

川上晃也 ;

岩井武 ;

羽田英夫 ;

秀坂慎一 ;

黑泽刚志 ;

圆山夏子 ;

松泽贤介 ;

濑下武广 ;

清水宏明 ;

中村刚 .

中国专利 :CN101408728A ,2009-04-15

[10]

抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 [P].

解德升 ;

夏元玲 ;

刘敏 .

中国专利 :CN118795729A ,2024-10-18

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