用于确定物理量的方法和设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380049284.0

申请日：

2023-05-23

公开(公告)号：

CN119404150A

公开(公告)日：

2025-02-07

发明(设计)人：

M·A·T·范金斯伯格 A·J·卡阿塔斯 J·R·唐斯马克-简·斯皮克曼罗伯托·帕加诺

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/00 G03F9/00 G01M11/02 G01J9/02

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

毕杨

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-07	公开	公开
2025-07-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20230523

共 50 条

[1]

物理量检测设备和物理量检测设备的检查方法 [P].

原哲也 ;

久保田贵光 .

中国专利 :CN102878921B ,2013-01-16

[2]

用于测量/确定介质物理量的装置 [P].

迈克尔·克劳斯 ;

弗劳利安·斯藤格利 .

中国专利 :CN1443299A ,2003-09-17

[3]

物理量测量设备和物理量测量方法 [P].

佐佐木晋一 .

中国专利 :CN103513103A ,2014-01-15

[4]

物理量测量装置和物理量测量装置的制造方法 [P].

阿部裕佑 ;

远山秀司 ;

关谷晴彥 .

日本专利 :CN111751046B ,2024-07-02

[5]

物理量测量装置和物理量测量装置的制造方法 [P].

阿部裕佑 ;

远山秀司 ;

关谷晴彥 .

中国专利 :CN111751046A ,2020-10-09

[6]

用于确定指示要被测量的物理量的数字值的方法和设备 [P].

C·盖齐 ;

L·通贝兹 .

:CN119374644A ,2025-01-28

[7]

用于确定调节系统中的物理量的方法和设备 [P].

A.瓦格纳 ;

R.比尔勒 .

中国专利 :CN103454913B ,2013-12-18

[8]

物理量采集电路及物理量采集方法 [P].

何志浩 ;

杨英振 ;

赵丰绩 ;

周成龙 ;

刘振喆 .

中国专利 :CN120947698A ,2025-11-14

[9]

物理量传感器系统和物理量传感器装置 [P].

贝野阳一 ;

谷口元教 ;

犬饲文人 .

中国专利 :CN202153136U ,2012-02-29

[10]

物理量接收装置、物理量供应装置和物理量接收方法 [P].

佐古曜一郎 ;

和城贤典 ;

芹田和俊 .

中国专利 :CN103578197A ,2014-02-12

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