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LDI曝光机（大台面）
被引：0
专利类型：
外观设计
申请号：
CN202430103133.6
申请日：
2024-02-29
公开(公告)号：
CN309125599S
公开(公告)日：
2025-02-18
发明(设计)人：
韩艳东
张文龙
杨体康
梁旭
申请人：
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请人地址：
230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼
IPC主分类号：
15-99
IPC分类号：
代理机构：
合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115
代理人：
娄岳
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-18 | 授权 | 授权 |