LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510224817.5

申请日：

2025-02-27

公开(公告)号：

CN119805888A

公开(公告)日：

2025-04-11

发明(设计)人：

赵祥宝郑超朱远哲高晓锋

申请人：

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

申请人地址：

230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼

IPC主分类号：

G03F9/00

IPC分类号：

G03F7/20

代理机构：

北京景闻知识产权代理有限公司 11742

代理人：

许磊磊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 9/00申请日:20250227
2025-04-11	公开	公开

共 50 条

[1]

LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 [P].

赵祥宝 ;

蔡志鸿 .

中国专利 :CN119805889A ,2025-04-11

[2]

LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 [P].

赵祥宝 ;

蔡志鸿 .

中国专利 :CN119805889B ,2025-11-28

[3]

LDI曝光机对位精度的检测方法 [P].

陈尧 .

中国专利 :CN118938615A ,2024-11-12

[4]

静止平台LDI曝光机 [P].

茆晓华 .

中国专利 :CN206270653U ,2017-06-20

[5]

单台面LDI曝光机 [P].

王历先 ;

项宗齐 ;

梁旭 .

中国专利 :CN309380230S ,2025-07-11

[6]

LDI曝光机（大台面） [P].

韩艳东 ;

张文龙 ;

杨体康 ;

梁旭 .

中国专利 :CN309125599S ,2025-02-18

[7]

一种LDI曝光机 [P].

李友春 ;

何文光 .

中国专利 :CN221926928U ,2024-10-29

[8]

一种LDI曝光机对位精度检测方法 [P].

陈功 ;

李志东 ;

邱醒亚 .

中国专利 :CN105404098B ,2016-03-16

[9]

一种LDI曝光机 [P].

李文波 ;

胡涛 .

中国专利 :CN223624509U ,2025-12-02

[10]

一种提高LDI曝光机曝光效率的方法 [P].

任城洵 ;

付凤奇 .

中国专利 :CN107340691A ,2017-11-10

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