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一种LDI曝光机对位精度检测方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201510890707.9
申请日：
2015-12-04
公开(公告)号：
CN105404098B
公开(公告)日：
2016-03-16
发明(设计)人：
陈功 李志东 邱醒亚
申请人：
申请人地址：
510663 广东省广州市广州高新技术产业开发区科学城光谱中路33号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
曾旻辉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2016-04-13 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101655080672 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015108907079 申请日:20151204
2016-03-16 公开 公开
2017-12-05 授权 授权
共 50 条
[1]
LDI曝光机对位精度的检测方法 [P]. 
陈尧 .
中国专利 :CN118938615A ,2024-11-12
[2]
LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 [P]. 
赵祥宝 ;
郑超 ;
朱远哲 ;
高晓锋 .
中国专利 :CN119805888A ,2025-04-11
[3]
LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 [P]. 
赵祥宝 ;
蔡志鸿 .
中国专利 :CN119805889A ,2025-04-11
[4]
LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 [P]. 
赵祥宝 ;
蔡志鸿 .
中国专利 :CN119805889B ,2025-11-28
[5]
一种提升内层曝光对位精度的LDI曝光机辅助设备 [P]. 
罗斌 ;
阮意华 ;
肖金辉 ;
吴文涛 ;
夏云平 .
中国专利 :CN218240663U ,2023-01-06
[6]
一种LDI曝光机 [P]. 
李文波 ;
胡涛 .
中国专利 :CN223624509U ,2025-12-02
[7]
一种LDI曝光机 [P]. 
李友春 ;
何文光 .
中国专利 :CN221926928U ,2024-10-29
[8]
一种可调节激光模组的对位LDI曝光机 [P]. 
周翼民 .
中国专利 :CN213634098U ,2021-07-06
[9]
一种可调节激光模组的对位LDI曝光机 [P]. 
门光辉 .
中国专利 :CN208547810U ,2019-02-26
[10]
一种线路LDI曝光机 [P]. 
刘璐 .
中国专利 :CN223742941U ,2025-12-30
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