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一种LDI曝光机
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202420462452.0
申请日
:
2024-03-11
公开(公告)号
:
CN221926928U
公开(公告)日
:
2024-10-29
发明(设计)人
:
李友春
何文光
申请人
:
深圳市东晖精密科技有限公司
申请人地址
:
518000 广东省深圳市龙华区大浪街道新石社区华宁路52号恒昌荣星辉科技工业园G栋102
IPC主分类号
:
G03F7/20
IPC分类号
:
代理机构
:
北京轻创知识产权代理有限公司 11212
代理人
:
赵秀斌
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-10-29
授权
授权
共 50 条
[1]
一种LDI曝光机
[P].
李文波
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
珠海市天时利科技有限公司
珠海市天时利科技有限公司
李文波
;
胡涛
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
珠海市天时利科技有限公司
珠海市天时利科技有限公司
胡涛
.
中国专利
:CN223624509U
,2025-12-02
[2]
LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机
[P].
赵祥宝
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
赵祥宝
;
郑超
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
郑超
;
朱远哲
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
朱远哲
;
高晓锋
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
高晓锋
.
中国专利
:CN119805888A
,2025-04-11
[3]
LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机
[P].
赵祥宝
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
赵祥宝
;
蔡志鸿
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
蔡志鸿
.
中国专利
:CN119805889A
,2025-04-11
[4]
LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机
[P].
赵祥宝
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
赵祥宝
;
蔡志鸿
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
蔡志鸿
.
中国专利
:CN119805889B
,2025-11-28
[5]
静止平台LDI曝光机
[P].
茆晓华
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
茆晓华
.
中国专利
:CN206270653U
,2017-06-20
[6]
一种提高LDI曝光机曝光效率的方法
[P].
任城洵
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
任城洵
;
付凤奇
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
付凤奇
.
中国专利
:CN107340691A
,2017-11-10
[7]
一种LDI曝光设备
[P].
董昱君
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
源能智创(江苏)半导体有限公司
源能智创(江苏)半导体有限公司
董昱君
;
荣韶华
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
源能智创(江苏)半导体有限公司
源能智创(江苏)半导体有限公司
荣韶华
;
徐晨
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
源能智创(江苏)半导体有限公司
源能智创(江苏)半导体有限公司
徐晨
;
张雷
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
源能智创(江苏)半导体有限公司
源能智创(江苏)半导体有限公司
张雷
.
中国专利
:CN222354271U
,2025-01-14
[8]
一种LDI曝光工作台
[P].
施君
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
施君
;
朱生平
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
朱生平
;
张瑞
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
张瑞
.
中国专利
:CN211207073U
,2020-08-07
[9]
一种用于LDI曝光机的载具机构
[P].
舒向云
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
舒向云
.
中国专利
:CN208654536U
,2019-03-26
[10]
一种线路LDI曝光机
[P].
刘璐
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
贵港市万吉电子有限公司
贵港市万吉电子有限公司
刘璐
.
中国专利
:CN223742941U
,2025-12-30
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