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一种LDI曝光工作台
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202020065151.6
申请日
:
2020-01-13
公开(公告)号
:
CN211207073U
公开(公告)日
:
2020-08-07
发明(设计)人
:
施君
朱生平
张瑞
申请人
:
申请人地址
:
516083 广东省惠州市大亚湾澳头石化大道362-2号(4号厂房)
IPC主分类号
:
G03F720
IPC分类号
:
代理机构
:
北京力量专利代理事务所(特殊普通合伙) 11504
代理人
:
姚远方
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-08-07
授权
授权
共 50 条
[1]
一种手动曝光机工作台
[P].
谢红
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海亚曼光电科技有限公司
上海亚曼光电科技有限公司
谢红
;
谢丁生
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机构:
上海亚曼光电科技有限公司
上海亚曼光电科技有限公司
谢丁生
;
吕学飞
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机构:
上海亚曼光电科技有限公司
上海亚曼光电科技有限公司
吕学飞
;
王韶华
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机构:
上海亚曼光电科技有限公司
上海亚曼光电科技有限公司
王韶华
;
晏建发
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机构:
上海亚曼光电科技有限公司
上海亚曼光电科技有限公司
晏建发
;
赵振浩
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机构:
上海亚曼光电科技有限公司
上海亚曼光电科技有限公司
赵振浩
;
谢和
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机构:
上海亚曼光电科技有限公司
上海亚曼光电科技有限公司
谢和
.
中国专利
:CN222071051U
,2024-11-26
[2]
一种曝光机工作台的制冷装置
[P].
陈宁
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陈宁
.
中国专利
:CN201797691U
,2011-04-13
[3]
一种单工作台面运动平台及LDI曝光机
[P].
王楚男
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机构:
杭州欣俊哲微纳科技有限公司
杭州欣俊哲微纳科技有限公司
王楚男
;
张继钊
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机构:
杭州欣俊哲微纳科技有限公司
杭州欣俊哲微纳科技有限公司
张继钊
;
廖平强
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机构:
杭州欣俊哲微纳科技有限公司
杭州欣俊哲微纳科技有限公司
廖平强
;
汪益立
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机构:
杭州欣俊哲微纳科技有限公司
杭州欣俊哲微纳科技有限公司
汪益立
.
中国专利
:CN221326932U
,2024-07-12
[4]
一种LDI曝光机
[P].
李友春
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0
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机构:
深圳市东晖精密科技有限公司
深圳市东晖精密科技有限公司
李友春
;
何文光
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机构:
深圳市东晖精密科技有限公司
深圳市东晖精密科技有限公司
何文光
.
中国专利
:CN221926928U
,2024-10-29
[5]
一种双工作台曝光机的曝光方法
[P].
肖敏
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肖敏
;
廖绍良
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廖绍良
;
夏天
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夏天
;
张雷
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张雷
.
中国专利
:CN112631080B
,2021-04-09
[6]
曝光工作台以及曝光装置
[P].
伊势胜
论文数:
0
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伊势胜
;
水口信一郎
论文数:
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0
水口信一郎
.
中国专利
:CN100487585C
,2006-10-04
[7]
一种直写式曝光机工作台组件及直写式曝光机
[P].
蔡志国
论文数:
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蔡志国
;
王友车
论文数:
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0
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0
王友车
.
中国专利
:CN209674185U
,2019-11-22
[8]
工作台以及曝光装置
[P].
原贵之
论文数:
0
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0
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0
原贵之
.
中国专利
:CN107656425A
,2018-02-02
[9]
一种升降工作台结构及曝光机
[P].
代晓龙
论文数:
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机构:
深圳市欣光辉科技有限公司
深圳市欣光辉科技有限公司
代晓龙
.
中国专利
:CN117434800A
,2024-01-23
[10]
一种升降工作台结构及曝光机
[P].
代晓龙
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机构:
深圳市欣光辉科技有限公司
深圳市欣光辉科技有限公司
代晓龙
.
中国专利
:CN117434800B
,2024-03-19
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