一种LDI曝光工作台

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202020065151.6
申请日
2020-01-13
公开(公告)号
CN211207073U
公开(公告)日
2020-08-07
发明(设计)人
施君 朱生平 张瑞
申请人
申请人地址
516083 广东省惠州市大亚湾澳头石化大道362-2号(4号厂房)
IPC主分类号
G03F720
IPC分类号
代理机构
北京力量专利代理事务所(特殊普通合伙) 11504
代理人
姚远方
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[2]
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[8]
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[10]
一种升降工作台结构及曝光机 [P]. 
代晓龙 .
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