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一种用于LDI曝光机的载具机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821280529.3
申请日：
2018-08-09
公开(公告)号：
CN208654536U
公开(公告)日：
2019-03-26
发明(设计)人：
舒向云
申请人：
申请人地址：
201807 上海市嘉定区嘉定工业区兴庆路699号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
上海科盛知识产权代理有限公司 31225
代理人：
叶敏华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-03-26 | 授权 | 授权 |