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一种用于LDI曝光的光源装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020777045.0
申请日：
2020-05-12
公开(公告)号：
CN211956122U
公开(公告)日：
2020-11-17
发明(设计)人：
陈志特
王华
吴中海
冯明瑞
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号（B幢一楼）
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231
代理人：
成伟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-17 | 授权 | 授权 |
| 2021-03-12 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人 变更前:东莞科视自动化科技有限公司 变更后:广东科视光学技术股份有限公司 变更事项:地址 变更前:523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号（B幢一楼） 变更后:523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼) |