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一种曝光平台及LDI曝光装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310718572.2
申请日：
2023-06-16
公开(公告)号：
CN116699951B
公开(公告)日：
2024-10-22
发明(设计)人：
陈果 李华团 夏云平 段绍华 肖金辉
申请人：
江西景旺精密电路有限公司
申请人地址：
343000 江西省吉安市吉水县城西工业区
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
深圳市精英专利事务所 44242
代理人：
巫苑明
法律状态：
授权
国省代码：
江西省 吉安市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-10-22 授权 授权
共 50 条
[1]
静止平台LDI曝光机 [P]. 
茆晓华 .
中国专利 :CN206270653U ,2017-06-20
[2]
LDI曝光图形位置校准补偿方法、装置及LDI曝光设备 [P]. 
董帅 .
中国专利 :CN117724307A ,2024-03-19
[3]
一种LDI曝光设备的自动调焦方法及LDI曝光设备 [P]. 
董昱君 ;
荣韶华 ;
徐晨 ;
张雷 .
中国专利 :CN120949516A ,2025-11-14
[4]
一种LDI曝光机 [P]. 
李文波 ;
胡涛 .
中国专利 :CN223624509U ,2025-12-02
[5]
一种LDI曝光机 [P]. 
李友春 ;
何文光 .
中国专利 :CN221926928U ,2024-10-29
[6]
一种LDI曝光设备 [P]. 
董昱君 ;
荣韶华 ;
徐晨 ;
张雷 .
中国专利 :CN222354271U ,2025-01-14
[7]
LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 [P]. 
赵祥宝 ;
郑超 ;
朱远哲 ;
高晓锋 .
中国专利 :CN119805888A ,2025-04-11
[8]
LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 [P]. 
赵祥宝 ;
蔡志鸿 .
中国专利 :CN119805889A ,2025-04-11
[9]
LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 [P]. 
赵祥宝 ;
蔡志鸿 .
中国专利 :CN119805889B ,2025-11-28
[10]
一种用于LDI曝光的光源装置 [P]. 
陈志特 ;
王华 ;
吴中海 ;
冯明瑞 .
中国专利 :CN211956122U ,2020-11-17
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