LDI曝光机对位精度的检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411105840.4

申请日：

2024-08-13

公开(公告)号：

CN118938615A

公开(公告)日：

2024-11-12

发明(设计)人：

陈尧

申请人：

盐城维信电子有限公司

申请人地址：

224000 江苏省盐城市盐都区盐渎路999号

IPC主分类号：

G03F9/00

IPC分类号：

G03F7/20

代理机构：

南京中高专利代理有限公司 32333

代理人：

陈薇

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省盐城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-12	公开	公开
2024-11-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 9/00申请日:20240813

共 50 条

[1]

一种LDI曝光机对位精度检测方法 [P].

陈功 ;

李志东 ;

邱醒亚 .

中国专利 :CN105404098B ,2016-03-16

[2]

LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 [P].

赵祥宝 ;

郑超 ;

朱远哲 ;

高晓锋 .

中国专利 :CN119805888A ,2025-04-11

[3]

LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 [P].

赵祥宝 ;

蔡志鸿 .

中国专利 :CN119805889A ,2025-04-11

[4]

LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 [P].

赵祥宝 ;

蔡志鸿 .

中国专利 :CN119805889B ,2025-11-28

[5]

一种提升内层曝光对位精度的LDI曝光机辅助设备 [P].

罗斌 ;

阮意华 ;

肖金辉 ;

吴文涛 ;

夏云平 .

中国专利 :CN218240663U ,2023-01-06

[6]

LDI曝光机能量均匀性检测方法 [P].

陈功 ;

卢汝锋 ;

谢添华 .

中国专利 :CN106325004A ,2017-01-11

[7]

一种可调节激光模组的对位LDI曝光机 [P].

周翼民 .

中国专利 :CN213634098U ,2021-07-06

[8]

一种可调节激光模组的对位LDI曝光机 [P].

门光辉 .

中国专利 :CN208547810U ,2019-02-26

[9]

静止平台LDI曝光机 [P].

茆晓华 .

中国专利 :CN206270653U ,2017-06-20

[10]

单台面LDI曝光机 [P].

王历先 ;

项宗齐 ;

梁旭 .

中国专利 :CN309380230S ,2025-07-11

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