氮化镓压力传感器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111181294.9

申请日：

2021-10-11

公开(公告)号：

CN113745326B

公开(公告)日：

2025-01-14

发明(设计)人：

刘泽文孙剑文

申请人：

清华大学

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华园

IPC主分类号：

H10D64/27

IPC分类号：

H10D30/47 H10D30/01 G01L1/16

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

尚伟净

法律状态：

授权

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-14	授权	授权

共 50 条

[1]

氮化镓压力传感器及其制备方法 [P].

刘泽文 ;

孙剑文 .

中国专利 :CN113745326A ,2021-12-03

[2]

氮化镓压力传感器 [P].

刘泽文 ;

孙剑文 .

中国专利 :CN216528897U ,2022-05-13

[3]

氮化镓压力传感器及其制作方法 [P].

刘云鹏 ;

孙剑文 .

中国专利 :CN117147023B ,2024-02-13

[4]

压力传感器、压力传感器阵列及其制备方法 [P].

郭小军 ;

陈苏杰 ;

唐伟 ;

赵家庆 .

中国专利 :CN107843364A ,2018-03-27

[5]

压致势垒变化式氮化镓压力传感器及其制备方法 [P].

刘泽文 ;

孙剑文 .

中国专利 :CN113686468B ,2021-11-23

[6]

压力传感器及其制备方法 [P].

冯雪 ;

王志建 ;

杜琦峰 ;

陈颖 .

中国专利 :CN111024296A ,2020-04-17

[7]

压力传感器及其制备方法 [P].

李昆 ;

李文杰 ;

冯叶 ;

钟国华 ;

童君 ;

隋帆 ;

杨春雷 .

中国专利 :CN107907251B ,2018-04-13

[8]

压力传感器及其制备方法 [P].

李威威 ;

陈明 ;

李伟民 ;

程冠铭 ;

冯叶 ;

钟国华 ;

李文杰 ;

杨春雷 .

中国专利 :CN109540354A ,2019-03-29

[9]

压力传感器及其制备方法 [P].

曹欣怡 ;

陈中 ;

李晓波 .

中国专利 :CN118482841A ,2024-08-13

[10]

压力传感器及其制备方法 [P].

冯雪 ;

王志建 ;

杜琦峰 ;

陈颖 .

中国专利 :CN111044207A ,2020-04-21

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