研磨头、研磨设备及研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411736183.3

申请日：

2024-11-29

公开(公告)号：

CN119427199A

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

夏汇哲臧志城孙永康王斌超

申请人：

浙江创芯集成电路有限公司

申请人地址：

311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号

IPC主分类号：

B24B37/30

IPC分类号：

B24B37/005 B24B37/10 B24B7/22

代理机构：

上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327

代理人：

潘彦君

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-14	公开	公开
2025-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/30申请日:20241129

共 50 条

[1]

研磨台、研磨头、研磨设备及研磨方法 [P].

陈政 ;

黄振伟 ;

徐亮 ;

谢城 .

中国专利 :CN118338988A ,2024-07-12

[2]

研磨头及研磨设备 [P].

左昭 ;

杨俊男 ;

闫晓晖 .

中国专利 :CN118809436A ,2024-10-22

[3]

研磨头及研磨设备 [P].

王建新 .

中国专利 :CN111531464B ,2020-08-14

[4]

研磨头、研磨系统及研磨方法 [P].

邹建龙 ;

左少杰 ;

李道光 ;

李大鹏 .

中国专利 :CN108818294A ,2018-11-16

[5]

研磨装置、研磨头及研磨方法 [P].

北桥正光 ;

龟井利之 ;

武田英俊 ;

德永祐之 ;

田尻知朗 .

中国专利 :CN1684800A ,2005-10-19

[6]

研磨头清洗装置、研磨设备及清洗方法 [P].

丁弋 ;

朱也方 .

中国专利 :CN104308720A ,2015-01-28

[7]

调压研磨头和研磨设备 [P].

谢晶星 .

中国专利 :CN222589226U ,2025-03-11

[8]

研磨机构、研磨头、研磨装置及研磨方法 [P].

坂下干也 ;

松井之辉 ;

侧濑聪文 .

中国专利 :CN112936089A ,2021-06-11

[9]

研磨头保持环、研磨组件以及研磨设备 [P].

罗超 ;

刘怡良 .

中国专利 :CN223630148U ,2025-12-05

[10]

研磨头系统及研磨方法 [P].

锅谷治 .

日本专利 :CN117620884A ,2024-03-01

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