研磨头、研磨系统及研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810670586.0

申请日：

2018-06-26

公开(公告)号：

CN108818294A

公开(公告)日：

2018-11-16

发明(设计)人：

邹建龙左少杰李道光李大鹏

申请人：

申请人地址：

430205 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

B24B3710 B24B3730 B24B3734

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陈力奕

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-16	公开	公开
2018-12-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/04 申请日:20180626

共 50 条

[1]

研磨头系统及研磨方法 [P].

锅谷治 .

日本专利 :CN117620884A ,2024-03-01

[2]

研磨头、研磨设备及研磨方法 [P].

夏汇哲 ;

臧志城 ;

孙永康 ;

王斌超 .

中国专利 :CN119427199A ,2025-02-14

[3]

研磨装置、研磨头及研磨方法 [P].

北桥正光 ;

龟井利之 ;

武田英俊 ;

德永祐之 ;

田尻知朗 .

中国专利 :CN1684800A ,2005-10-19

[4]

研磨台、研磨头、研磨设备及研磨方法 [P].

陈政 ;

黄振伟 ;

徐亮 ;

谢城 .

中国专利 :CN118338988A ,2024-07-12

[5]

研磨头系统及研磨装置 [P].

小畠严贵 ;

安田穗积 ;

矢内昭夫 ;

高桥信行 ;

中村贵正 ;

坂田桂介 ;

高田畅行 ;

八木裕治 ;

高田泰弘 ;

渡边和英 .

中国专利 :CN113134785A ,2021-07-20

[6]

研磨头系统及研磨装置 [P].

小畠严贵 ;

安田穗积 ;

矢内昭夫 ;

高桥信行 ;

中村贵正 ;

坂田桂介 ;

高田畅行 ;

八木裕治 ;

高田泰弘 ;

渡边和英 .

日本专利 :CN113134785B ,2024-05-14

[7]

研磨机构、研磨头、研磨装置及研磨方法 [P].

坂下干也 ;

松井之辉 ;

侧濑聪文 .

中国专利 :CN112936089A ,2021-06-11

[8]

研磨方法、研磨垫及研磨系统 [P].

王裕标 .

中国专利 :CN101579838A ,2009-11-18

[9]

研磨头、研磨装置及工件的研磨方法 [P].

桝村寿 .

中国专利 :CN103702798A ,2014-04-02

[10]

研磨头及研磨设备 [P].

左昭 ;

杨俊男 ;

闫晓晖 .

中国专利 :CN118809436A ,2024-10-22

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