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基板清洗装置、基板处理装置、基板清洗方法及程序
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380045004.9
申请日：
2023-04-07
公开(公告)号：
CN119318002A
公开(公告)日：
2025-01-14
发明(设计)人：
石井游
申请人：
株式会社荏原制作所
申请人地址：
日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
IPC主分类号：
H01L21/304
IPC分类号：
代理机构：
上海华诚知识产权代理有限公司 31300
代理人：
张丽颖
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/304申请日:20230407 |
| 2025-01-14 | 公开 | 公开 |