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一种晶圆加工快速定位装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323070389.0
申请日：
2023-11-14
公开(公告)号：
CN222421931U
公开(公告)日：
2025-01-28
发明(设计)人：
向定艾 杨普 夏彤 高曼荣
申请人：
德阳展源新材料科技有限公司
申请人地址：
618019 四川省德阳市旌阳区天元镇(景福)秋月村四组6幢
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
H01L21/677 H01L21/687
代理机构：
成都汇浪淘知识产权代理事务所(普通合伙) 51381
代理人：
苟莉
法律状态：
授权
国省代码：
四川省 德阳市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-01-28 授权 授权
共 50 条
[1]
一种晶圆缺陷快速定位装置 [P]. 
顾宁 ;
张永华 .
中国专利 :CN206293408U ,2017-06-30
[2]
一种晶圆加工定位切割装置 [P]. 
唐红梅 ;
张晓勇 ;
王毅 .
中国专利 :CN223589763U ,2025-11-25
[3]
一种晶圆定位加工装置 [P]. 
张生 .
中国专利 :CN223084378U ,2025-07-11
[4]
一种晶圆定位装置 [P]. 
蔡正道 ;
陶为银 ;
巩铁建 ;
乔赛赛 .
中国专利 :CN214848577U ,2021-11-23
[5]
一种晶圆机械手臂快速定位装置 [P]. 
余丞宏 .
中国专利 :CN216957985U ,2022-07-12
[6]
一种阀门配件加工快速定位装置 [P]. 
徐赟 ;
李琴 ;
周建民 .
中国专利 :CN221455827U ,2024-08-02
[7]
一种齿圈加工快速定位装置 [P]. 
蒋欣雨 .
中国专利 :CN221290412U ,2024-07-09
[8]
一种钻床加工用快速定位装置 [P]. 
姜懿 .
中国专利 :CN214264828U ,2021-09-24
[9]
一种车床加工圆棒快速定位装置 [P]. 
张云龙 ;
高大鹏 .
中国专利 :CN214134913U ,2021-09-07
[10]
一种用于晶圆加工的轴心定位装置 [P]. 
刘加美 ;
曹芳 ;
刘俊呈 .
中国专利 :CN213424962U ,2021-06-11
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