共 50 条
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电化学机械抛光装置及包括其的晶圆加工设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411538288.8
申请日：
2024-10-31
公开(公告)号：
CN119388317A
公开(公告)日：
2025-02-07
发明(设计)人：
吴大亮
孙新颖
申请人：
华海清科股份有限公司
申请人地址：
300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号
IPC主分类号：
B24B37/10
IPC分类号：
B24B37/20
B24B37/26
B24B37/34
B24B57/02
C25F3/30
C25F7/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
天津市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-07 | 公开 | 公开 |
| 2025-02-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/10申请日:20241031 |