一种电化学机械抛光头及抛光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310307906.7

申请日：

2023-03-27

公开(公告)号：

CN116423384B

公开(公告)日：

2024-06-21

发明(设计)人：

王子睿王永光刘庆升丁钊朱睿成锋师晓曼彭超

申请人：

苏州大学

申请人地址：

215000 江苏省苏州市相城区济学路8号

IPC主分类号：

B24B37/30

IPC分类号：

C25F3/30 H01L21/306 B24B37/10 B24B7/22

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257

代理人：

殷海霞

法律状态：

授权

国省代码：

黑龙江省哈尔滨市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法 [P].

张金鑫 ;

孟松林 ;

王宇 ;

张洪蛟 ;

金军 ;

左少杰 .

中国专利 :CN120134208A ,2025-06-13

[2]

一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法 [P].

张金鑫 ;

孟松林 ;

王宇 ;

张洪蛟 ;

金军 ;

左少杰 .

中国专利 :CN121083504A ,2025-12-09

[3]

一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法 [P].

张金鑫 ;

孟松林 ;

王宇 ;

张洪蛟 ;

金军 ;

左少杰 .

中国专利 :CN120134208B ,2025-08-19

[4]

一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法 [P].

张金鑫 ;

孟松林 ;

王宇 ;

张洪蛟 ;

金军 ;

左少杰 .

中国专利 :CN120734903A ,2025-10-03

[5]

一种气囊式电化学机械抛光头、抛光装置及抛光方法 [P].

边燕飞 ;

王振轩 ;

张晓剑 ;

蔡萌 ;

张帅 .

中国专利 :CN106670899B ,2017-05-17

[6]

电化学机械抛光装置 [P].

倪建明 .

中国专利 :CN105710761A ,2016-06-29

[7]

一种电化学机械抛光方法 [P].

杨亮 ;

王磊 ;

左晓磊 ;

张康 ;

李婷 .

中国专利 :CN117943966A ,2024-04-30

[8]

一种电化学机械抛光装置 [P].

左晓磊 ;

王磊 ;

张康 ;

刘永进 ;

李婷 .

中国专利 :CN117568908A ,2024-02-20

[9]

一种用于电化学机械抛光的抛光吸附盘机构及电化学机械抛光系统 [P].

朱自强 ;

杨渊思 .

中国专利 :CN120533612A ,2025-08-26

[10]

一种电化学机械抛光及平坦化装置 [P].

顾海洋 ;

时泽健 ;

朱政挺 ;

朱自强 ;

杨渊思 .

中国专利 :CN120206393A ,2025-06-27

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