一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511100159.5

申请日：

2025-05-12

公开(公告)号：

CN120734903A

公开(公告)日：

2025-10-03

发明(设计)人：

张金鑫孟松林王宇张洪蛟金军左少杰

申请人：

华海清科股份有限公司

申请人地址：

300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号

IPC主分类号：

B24B37/12

IPC分类号：

B24B37/34 B24B37/30 B24B37/10 B24B1/00 B24B55/00 H01L21/306

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

天津市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-03	公开	公开
2025-10-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/12申请日:20250512

共 50 条

[1]

一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法 [P].

张金鑫 ;

孟松林 ;

王宇 ;

张洪蛟 ;

金军 ;

左少杰 .

中国专利 :CN120134208A ,2025-06-13

[2]

一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法 [P].

张金鑫 ;

孟松林 ;

王宇 ;

张洪蛟 ;

金军 ;

左少杰 .

中国专利 :CN121083504A ,2025-12-09

[3]

一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法 [P].

张金鑫 ;

孟松林 ;

王宇 ;

张洪蛟 ;

金军 ;

左少杰 .

中国专利 :CN120134208B ,2025-08-19

[4]

一种电化学机械抛光头及抛光装置 [P].

王子睿 ;

王永光 ;

刘庆升 ;

丁钊 ;

朱睿 ;

成锋 ;

师晓曼 ;

彭超 .

中国专利 :CN116423384B ,2024-06-21

[5]

一种气囊式电化学机械抛光头、抛光装置及抛光方法 [P].

边燕飞 ;

王振轩 ;

张晓剑 ;

蔡萌 ;

张帅 .

中国专利 :CN106670899B ,2017-05-17

[6]

电化学机械抛光装置 [P].

倪建明 .

中国专利 :CN105710761A ,2016-06-29

[7]

一种用于电化学机械抛光的抛光吸附盘机构及电化学机械抛光系统 [P].

朱自强 ;

杨渊思 .

中国专利 :CN120533612A ,2025-08-26

[8]

用于电化学机械抛光的抛光垫 [P].

李·M.·库克 ;

戴维·B.·詹姆斯 ;

约翰·V.·H·罗伯兹 .

中国专利 :CN100347825C ,2005-09-07

[9]

抛光头和化学机械抛光设备 [P].

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN109048627A ,2018-12-21

[10]

一种电化学机械抛光方法 [P].

杨亮 ;

王磊 ;

左晓磊 ;

张康 ;

李婷 .

中国专利 :CN117943966A ,2024-04-30

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