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固化性组合物，反转图案形成方法，膜形成方法和物品制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380046074.6
申请日：
2023-06-06
公开(公告)号：
CN119343746A
公开(公告)日：
2025-01-21
发明(设计)人：
大塚正宣
伊藤俊树
申请人：
佳能株式会社
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
H01L21/027
IPC分类号：
B29C59/02
代理机构：
中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038
代理人：
王海宁
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-01-21 | 公开 | 公开 |
| 2025-02-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/027申请日:20230606 |