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一种MEMS检测传感器及检测方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211122060.1
申请日：
2022-09-15
公开(公告)号：
CN115452911B
公开(公告)日：
2025-02-11
发明(设计)人：
黄立 黄晟 姬君旺
申请人：
武汉高芯科技有限公司
申请人地址：
430205 湖北省武汉市东湖开发区黄龙山南路6号2号楼
IPC主分类号：
G01N27/327
IPC分类号：
G01N21/78
代理机构：
深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 44525
代理人：
宋宝焱
法律状态：
授权
国省代码：
湖北省 武汉市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-02-11 授权 授权
共 50 条
[1]
一种MEMS检测传感器及检测方法 [P]. 
黄立 ;
黄晟 ;
姬君旺 .
中国专利 :CN115452911A ,2022-12-09
[2]
一种MEMS检测传感器及检测方法 [P]. 
黄立 ;
黄晟 ;
姬君旺 .
中国专利 :CN115452912A ,2022-12-09
[3]
一种MEMS检测传感器及检测方法 [P]. 
黄立 ;
黄晟 ;
姬君旺 .
中国专利 :CN115452912B ,2025-02-11
[4]
一种具有检测功能的MEMS传感器及检测系统 [P]. 
黄立 ;
黄晟 ;
姬君旺 .
中国专利 :CN115452815A ,2022-12-09
[5]
一种具有检测功能的传感器及检测方法 [P]. 
黄立 ;
黄晟 ;
姬君旺 .
中国专利 :CN115452901A ,2022-12-09
[6]
一种具有检测功能的传感器及检测方法 [P]. 
黄立 ;
黄晟 ;
姬君旺 .
中国专利 :CN115452901B ,2024-11-12
[7]
MEMS传感器的检测工装及MEMS传感器的检测设备 [P]. 
南耀仕 ;
李正伟 ;
乜恺 ;
杨凤霞 ;
姚世婷 ;
卢倩 .
中国专利 :CN119245696B ,2025-03-25
[8]
MEMS传感器的检测工装及MEMS传感器的检测设备 [P]. 
南耀仕 ;
李正伟 ;
乜恺 ;
杨凤霞 ;
姚世婷 ;
卢倩 .
中国专利 :CN119245696A ,2025-01-03
[9]
MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P]. 
李宗伟 ;
韩可都 ;
刘婧 ;
冯方方 ;
杨长春 .
中国专利 :CN110763870A ,2020-02-07
[10]
MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P]. 
李宗伟 ;
周永建 ;
张潇筱 ;
刘婧 ;
孟海龙 ;
杨长春 ;
韩可都 ;
冯方方 .
中国专利 :CN111561958A ,2020-08-21
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