硅片棒缓存装置及硅片加工系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202420870848.9
申请日
2024-04-24
公开(公告)号
CN222380561U
公开(公告)日
2025-01-21
发明(设计)人
周敬 潘士达 史文龙 付明全 杨洋
申请人
四川高景太阳能科技有限公司 高景太阳能股份有限公司
申请人地址
644000 四川省宜宾市叙州区高场镇高新社区金润产业园72栋1楼12号
IPC主分类号
H01L21/677
IPC分类号
B08B3/02
代理机构
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人
孙海杰
法律状态
授权
国省代码
广东省 珠海市
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共 50 条
[1]
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[10]
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