金属膜及びその成膜方法[ja]

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申请号
JP20200176807
申请日
2020-10-21
公开(公告)号
JP7631727B2
公开(公告)日
2025-02-19
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C24/04
IPC分类号
B05D1/02 B05D3/00 B05D7/24 F02F1/24 F02F1/42
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
金属膜および金属膜の成膜方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2015177948A1 ,2017-04-20
[2]
金属膜および金属膜の成膜方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6082165B2 ,2017-02-15
[3]
金属膜の成膜方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6478813B2 ,2019-03-06
[4]
金属膜の成膜方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP5934609B2 ,2016-06-15
[5]
金属膜の成膜方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP5917351B2 ,2016-05-11
[6]
金属膜の成膜方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6220649B2 ,2017-10-25
[7]
金属膜及び金属膜の形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6304681B2 ,2018-04-04
[8]
金属膜の形成方法及び成膜装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7080111B2 ,2022-06-03