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一种半导体表面处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311076554.5
申请日：
2023-08-24
公开(公告)号：
CN119506880A
公开(公告)日：
2025-02-25
发明(设计)人：
祁延刚
申请人：
东莞新科技术研究开发有限公司
申请人地址：
523087 广东省东莞市南城区宏远工业区
IPC主分类号：
C23C28/04
IPC分类号：
C23C14/34
C23C14/18
C23C16/26
C23C14/02
H01L23/373
代理机构：
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人：
麦小婵
法律状态：
公开
国省代码：
山东省
青岛市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-25 | 公开 | 公开 |