用于探测MEMS传感器的污染的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411128697.0

申请日：

2024-08-16

公开(公告)号：

CN119492410A

公开(公告)日：

2025-02-21

发明(设计)人：

M·基特尔 J·克勒策 T·德盖伊

申请人：

罗伯特·博世有限公司

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

G01D18/00

IPC分类号：

G01D3/028

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

侯鸣慧

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-21	公开	公开

共 50 条

[1]

用于探测MEMS传感器元件的污物的方法和设备 [P].

R·屈尔斯 ;

F·施普林格 ;

M·基特尔 .

德国专利 :CN113447057B ,2025-05-23

[2]

用于探测MEMS传感器元件的污物的方法和设备 [P].

R·屈尔斯 ;

F·施普林格 ;

M·基特尔 .

中国专利 :CN113447057A ,2021-09-28

[3]

用于颗粒探测的激光传感器 [P].

J·H·M·斯普鲁伊特 ;

A·M·范德莱 ;

G·科艾曼 ;

O·奥维尔特杰斯 ;

J·W·海尔米格 ;

A·J·M·J·拉斯 ;

P·T·于特 .

中国专利 :CN109154659A ,2019-01-04

[4]

MEMS传感器以及用于运行MEMS传感器的方法 [P].

A·丹嫩贝格 ;

M·施瓦茨 .

中国专利 :CN113474281A ,2021-10-01

[5]

MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

C·纳格尔 .

中国专利 :CN113365937A ,2021-09-07

[6]

MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

C·纳格尔 .

德国专利 :CN113365937B ,2025-04-15

[7]

用于制造MEMS传感器的方法和MEMS传感器 [P].

M·施泰尔特 .

中国专利 :CN109422239A ,2019-03-05

[8]

MEMS传感器以及用于运行MEMS传感器的方法 [P].

A·丹嫩贝格 ;

M·施瓦茨 .

德国专利 :CN113474281B ,2024-10-29

[9]

用于检验MEMS传感器的传感器值的方法 [P].

C.胡特 ;

O.维勒斯 .

中国专利 :CN111272207A ,2020-06-12

[10]

用于检验MEMS传感器的传感器值的方法 [P].

C.胡特 ;

O.维勒斯 .

德国专利 :CN111272207B ,2024-07-23

← 1 2 3 4 5 →