一种铁电薄膜的制备方法和铁电电容器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411622807.9

申请日：

2024-11-14

公开(公告)号：

CN119506802A

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

王渊李冠霖罗庆

申请人：

中国科学院微电子研究所

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/58 C23C14/08

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

尉静波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20241114
2025-02-25	公开	公开

共 50 条

[1]

一种复合铁电薄膜、铁电电容器及其制备方法 [P].

陈祖煌 ;

周超 .

中国专利 :CN118660619A ,2024-09-17

[2]

一种铁电薄膜、铁电电容器及其制备方法 [P].

陈琳 ;

徐康力 ;

王天宇 ;

朱宝 ;

孟佳琳 ;

孙清清 ;

张卫 .

中国专利 :CN120857520A ,2025-10-28

[3]

铁电电容器和制造铁电电容器的方法 [P].

金玟爀 ;

朴昶均 ;

金德镐 ;

金杜镐 ;

闵庆仁 ;

黄喆周 .

韩国专利 :CN119866682A ,2025-04-22

[4]

一种铪基铁电薄膜、铁电电容器及其制备方法 [P].

陈祖煌 ;

周超 .

中国专利 :CN117896989A ,2024-04-16

[5]

铁电薄膜的制造方法、铁电电容器、铁电存储器及其制造方法 [P].

那须彻 ;

林慎一郎 .

中国专利 :CN1285617A ,2001-02-28

[6]

一种铁电电容器的制备方法 [P].

许占齐 ;

吕震宇 ;

王宇 ;

袁旭 ;

刘旭 ;

李兵 .

中国专利 :CN118946258A ,2024-11-12

[7]

铁电电容器双退火工艺、制备方法以及铁电电容器 [P].

姜鹏飞 ;

徐盼 ;

罗庆 .

中国专利 :CN121075948A ,2025-12-05

[8]

一种铁电电容器及其制备方法和铁电存储器 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN118019442A ,2024-05-10

[9]

铁电薄膜及使用该铁电薄膜的薄膜电容器 [P].

野口毅 ;

樱井英章 ;

藤井顺 ;

渡边敏昭 ;

曽山信幸 .

中国专利 :CN103130502B ,2013-06-05

[10]

铁电电容器的制造方法 [P].

李俊冀 ;

朴永洙 .

中国专利 :CN1198328C ,2003-05-14

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