一种铪基铁电薄膜、铁电电容器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311778634.5

申请日：

2023-12-21

公开(公告)号：

CN117896989A

公开(公告)日：

2024-04-16

发明(设计)人：

陈祖煌周超

申请人：

哈尔滨工业大学（深圳）（哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院）

申请人地址：

518055 广东省深圳市南山区桃源街道深圳大学城哈尔滨工业大学校区

IPC主分类号：

H10B53/30

IPC分类号：

C01G27/00 C01G35/00 C23C14/28 C23C14/08

代理机构：

深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268

代理人：

陈专

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

山东省威海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H10B 53/30申请日:20231221
2024-04-16	公开	公开

共 50 条

[1]

一种铁电薄膜、铁电电容器及其制备方法 [P].

陈琳 ;

徐康力 ;

王天宇 ;

朱宝 ;

孟佳琳 ;

孙清清 ;

张卫 .

中国专利 :CN120857520A ,2025-10-28

[2]

一种铪基铁电电容器件及其制备方法 [P].

魏巍 ;

汤瑞丰 ;

罗庆 .

中国专利 :CN120500056A ,2025-08-15

[3]

一种氧化铪基铁电电容器、铁电薄膜晶体管及其制备方法 [P].

陆旭兵 ;

屈丹丹 ;

陶瑞强 ;

吴吉洋 .

中国专利 :CN120456569A ,2025-08-08

[4]

一种复合铁电薄膜、铁电电容器及其制备方法 [P].

陈祖煌 ;

周超 .

中国专利 :CN118660619A ,2024-09-17

[5]

一种氧化铪基铁电薄膜电容器及其制作方法 [P].

郑帅至 ;

王昆 ;

余梁 ;

曾斌建 ;

廖敏 .

中国专利 :CN120435014A ,2025-08-05

[6]

一种氧化铪基铁电薄膜电容器及其制备方法 [P].

陆旭兵 ;

张岩 ;

帅文韬 .

中国专利 :CN114360929A ,2022-04-15

[7]

一种氧化铪基铁电薄膜电容器及其制备方法 [P].

陆旭兵 ;

罗春来 ;

郑俊锋 .

中国专利 :CN117580445A ,2024-02-20

[8]

一种氧化铪基铁电薄膜电容器及其制备方法 [P].

陆旭兵 ;

张岩 ;

帅文韬 .

中国专利 :CN114360929B ,2024-06-04

[9]

一种铁电薄膜的制备方法和铁电电容器 [P].

王渊 ;

李冠霖 ;

罗庆 .

中国专利 :CN119506802A ,2025-02-25

[10]

一种氧化铪基铁电电容器 [P].

姜鹏飞 ;

罗庆 ;

刘明 .

中国专利 :CN221449031U ,2024-07-30

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