一种氧化铪基铁电薄膜电容器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111600634.7

申请日：

2021-12-24

公开(公告)号：

CN114360929B

公开(公告)日：

2024-06-04

发明(设计)人：

陆旭兵张岩帅文韬

申请人：

华南师范大学

申请人地址：

510006 广东省广州市番禺区外环西路378号华南师范大学华南先进光电子研究院

IPC主分类号：

H01G13/00

IPC分类号：

H01G7/06 H10B53/30

代理机构：

广州骏思知识产权代理有限公司 44425

代理人：

吴静芝

法律状态：

授权

国省代码：

广东省佛山市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种氧化铪基铁电薄膜电容器及其制备方法 [P].

陆旭兵 ;

张岩 ;

帅文韬 .

中国专利 :CN114360929A ,2022-04-15

[2]

一种氧化铪基铁电薄膜电容器及其制备方法 [P].

陆旭兵 ;

罗春来 ;

郑俊锋 .

中国专利 :CN117580445A ,2024-02-20

[3]

一种氧化铪基铁电薄膜电容器及其制作方法 [P].

郑帅至 ;

王昆 ;

余梁 ;

曾斌建 ;

廖敏 .

中国专利 :CN120435014A ,2025-08-05

[4]

一种氧化铪基铁电电容器、铁电薄膜晶体管及其制备方法 [P].

陆旭兵 ;

屈丹丹 ;

陶瑞强 ;

吴吉洋 .

中国专利 :CN120456569A ,2025-08-08

[5]

一种基于电极优化的超薄氧化铪铁电薄膜电容器及其制备方法 [P].

陆旭兵 ;

吴吉洋 ;

陶瑞强 ;

李育珊 ;

屈丹丹 .

中国专利 :CN119581225A ,2025-03-07

[6]

一种La掺杂氧化铪基铁电薄膜、电容器及其制备方法 [P].

吴迪 ;

卿明凯 ;

矫佩杰 .

中国专利 :CN119815842B ,2025-07-22

[7]

一种La掺杂氧化铪基铁电薄膜、电容器及其制备方法 [P].

吴迪 ;

卿明凯 ;

矫佩杰 .

中国专利 :CN119815842A ,2025-04-11

[8]

一种铪基铁电薄膜、铁电电容器及其制备方法 [P].

陈祖煌 ;

周超 .

中国专利 :CN117896989A ,2024-04-16

[9]

一种柔性氧化铪基铁电电容器的制备方法 [P].

肖永光 ;

张玉洁 ;

燕少安 ;

朱颖方 ;

唐明华 .

中国专利 :CN119008272A ,2024-11-22

[10]

一种氧化铪基铁电薄膜电容及其制作方法 [P].

廖敏 ;

刘锦泰 ;

曾斌建 .

中国专利 :CN118693064A ,2024-09-24

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