一种氧化铪基铁电薄膜电容及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410578773.1

申请日：

2024-05-11

公开(公告)号：

CN118693064A

公开(公告)日：

2024-09-24

发明(设计)人：

廖敏刘锦泰曾斌建

申请人：

湘潭大学

申请人地址：

411100 湖南省湘潭市雨湖区羊沽塘

IPC主分类号：

H01L23/64

IPC分类号：

C23C14/02 C23C14/35 C23C16/455 C23C14/34 C23C14/58

代理机构：

深圳市沈合专利代理事务所(特殊普通合伙) 44373

代理人：

沈祖锋

法律状态：

公开

国省代码：

湖南省湘潭市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-24	公开	公开
2024-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 23/64申请日:20240511

共 50 条

[1]

一种氧化铪基铁电薄膜电容的性能优化方法 [P].

廖敏 ;

罗梓綦 ;

曾斌建 ;

郑帅至 ;

彭强祥 .

中国专利 :CN116110720B ,2024-05-31

[2]

一种氧化铪基铁电薄膜电容器及其制作方法 [P].

郑帅至 ;

王昆 ;

余梁 ;

曾斌建 ;

廖敏 .

中国专利 :CN120435014A ,2025-08-05

[3]

一种氧化铪基铁电薄膜电容器及其制备方法 [P].

陆旭兵 ;

张岩 ;

帅文韬 .

中国专利 :CN114360929A ,2022-04-15

[4]

一种氧化铪基铁电薄膜电容器及其制备方法 [P].

陆旭兵 ;

张岩 ;

帅文韬 .

中国专利 :CN114360929B ,2024-06-04

[5]

一种氧化铪基铁电薄膜电容器及其制备方法 [P].

陆旭兵 ;

罗春来 ;

郑俊锋 .

中国专利 :CN117580445A ,2024-02-20

[6]

氧化铪基铁电薄膜和氧化铪基铁电薄膜制备方法 [P].

廖敏 ;

戴思维 ;

郇延伟 ;

刘晨 ;

曾斌建 ;

周益春 .

中国专利 :CN112151602A ,2020-12-29

[7]

一种氧化铪基铁电电容及其制备方法 [P].

廖敏 ;

曾斌建 ;

周益春 ;

廖佳佳 ;

彭强祥 .

中国专利 :CN113948520A ,2022-01-18

[8]

一种氧化铪基铁电电容及其制备方法 [P].

廖敏 ;

曾斌建 ;

周益春 ;

廖佳佳 ;

彭强祥 .

中国专利 :CN109935589A ,2019-06-25

[9]

一种氧化铪基铁电电容及其制备方法 [P].

廖敏 ;

曾斌建 ;

周益春 ;

廖佳佳 ;

彭强祥 .

中国专利 :CN113948520B ,2025-01-10

[10]

一种氧化铪基铁电薄膜及其制备方法 [P].

郑帅至 ;

彭朝 ;

曾斌建 ;

廖敏 ;

刘洲洋 .

中国专利 :CN118510285A ,2024-08-16

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