一种抛光液供液自动切换系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411714176.3
申请日
2024-11-27
公开(公告)号
CN119501818A
公开(公告)日
2025-02-25
发明(设计)人
张荣彬 陈信 邵秋生 蒙德强 于兴瑞 程怀璋 王玥 张清洋
申请人
山东有研艾斯半导体材料有限公司
申请人地址
253084 山东省德州市天衢新区东方红东路6839号
IPC主分类号
B24B57/02
IPC分类号
B24B57/00 B24B29/02 F17D1/14 F17D3/01
代理机构
北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100
代理人
刘秀青
法律状态
公开
国省代码
安徽省 宣城市
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共 50 条
[1]
抛光液自动供液系统 [P]. 
陈炯杰 .
中国专利 :CN220548132U ,2024-03-01
[2]
抛光液自动供液装置 [P]. 
陈宏 ;
陈伟 .
中国专利 :CN223617509U ,2025-12-02
[3]
一种抛光液供液设备 [P]. 
任红州 ;
张宇 ;
魏鹏 .
中国专利 :CN222345239U ,2025-01-14
[4]
一种抛光液供液系统及供液组件 [P]. 
金启明 ;
顾海华 ;
唐春海 ;
秦文坡 ;
陈佳浪 ;
宋诚伟 ;
陈国威 ;
黄铖 ;
吴成威 ;
林锦和 ;
黄嘉成 .
中国专利 :CN223431457U ,2025-10-14
[5]
一种抛光液供液装置 [P]. 
王堃 ;
李莹 ;
王俊 ;
刘东红 ;
何宏谦 ;
于秀 ;
陈冠宇 ;
杜莹 ;
唐晓磊 ;
王梓旭 .
中国专利 :CN221560986U ,2024-08-20
[6]
一种抛光液浓度在线测量装置及抛光液供液系统 [P]. 
周佩璠 ;
刘义彬 ;
张宁 ;
高胥华 ;
陈伦强 ;
张曼 ;
胡庆 ;
戴红玲 .
中国专利 :CN114965141B ,2024-12-31
[7]
一种集成式抛光液供液设备 [P]. 
任红州 ;
张宇 .
中国专利 :CN222791692U ,2025-04-25
[8]
抛光液切换装置 [P]. 
刘亚彪 ;
杨会义 ;
刘仲宁 ;
李新良 ;
周继国 ;
汪兴 .
中国专利 :CN203390743U ,2014-01-15
[9]
一种抛光机用自动切换供液系统的供液方法 [P]. 
尹文宝 ;
陈达 ;
王维师 ;
菅明辉 .
中国专利 :CN118559610A ,2024-08-30
[10]
抛光液自动滴液装置 [P]. 
刘云 ;
张彪 ;
王立军 ;
王祥鹏 ;
王超 .
中国专利 :CN101073881A ,2007-11-21