光栅曝光系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311085757.0

申请日：

2023-08-25

公开(公告)号：

CN119556389A

公开(公告)日：

2025-03-04

发明(设计)人：

赵家琦马子显严子深李屹

申请人：

深圳光峰科技股份有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区粤海街道学府路63号高新区联合总部大厦20-22楼

IPC主分类号：

G02B5/18

IPC分类号：

G03F7/20

代理机构：

深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙) 44351

代理人：

吕静

法律状态：

公开

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-04	公开	公开

共 50 条

[1]

干涉曝光系统、方法及光栅曝光系统 [P].

赵家琦 ;

刘志浩 ;

李屹 .

中国专利 :CN119758672A ,2025-04-04

[2]

光栅曝光系统及方法 [P].

赵家琦 ;

王珊 ;

严子深 ;

赵鹏 ;

李屹 .

中国专利 :CN120161552A ,2025-06-17

[3]

光栅干涉曝光系统及方法 [P].

赵家琦 ;

严子深 ;

赵鹏 ;

李屹 .

中国专利 :CN119511638A ,2025-02-25

[4]

偏振全息光栅的曝光系统及曝光方法 [P].

魏如东 ;

饶轶 ;

吾晓 ;

赵恩 ;

杨镇源 .

中国专利 :CN114236971A ,2022-03-25

[5]

光栅干涉曝光系统 [P].

赵家琦 ;

王珊 ;

严子深 ;

李屹 .

中国专利 :CN221261503U ,2024-07-02

[6]

曝光系统及曝光机 [P].

汪杰 ;

杨莉 .

中国专利 :CN216118386U ,2022-03-22

[7]

曝光方法及曝光系统 [P].

廖绍良 ;

胡传武 ;

张雷 .

中国专利 :CN111999990B ,2020-11-27

[8]

曝光系统及曝光方法 [P].

汪杰 ;

杨莉 .

中国专利 :CN113759672B ,2024-06-11

[9]

曝光系统及曝光方法 [P].

陈右儒 ;

陈骏腾 ;

曾耀腾 ;

高振宽 .

中国专利 :CN106773329A ,2017-05-31

[10]

曝光系统及曝光方法 [P].

汪杰 ;

杨莉 .

中国专利 :CN113759672A ,2021-12-07

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