偏振全息光栅的曝光系统及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111444331.0

申请日：

2021-11-30

公开(公告)号：

CN114236971A

公开(公告)日：

2022-03-25

发明(设计)人：

魏如东饶轶吾晓赵恩杨镇源

申请人：

申请人地址：

261031 山东省潍坊市高新技术产业开发区东方路268号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442

代理人：

周礼涛

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20211130
2022-03-25	公开	公开

共 50 条

[1]

偏振体全息光栅、偏振体全息光栅的制备方法及曝光系统 [P].

兰富洋 ;

关健 ;

马国庆 ;

王兆民 .

中国专利 :CN119781104A ,2025-04-08

[2]

干涉曝光系统、方法及光栅曝光系统 [P].

赵家琦 ;

刘志浩 ;

李屹 .

中国专利 :CN119758672A ,2025-04-04

[3]

一种全息光栅的曝光系统 [P].

宋仁杰 ;

李瑶 ;

李彬彬 ;

张卓鹏 ;

魏一振 .

中国专利 :CN221977145U ,2024-11-08

[4]

一种反射式全息光栅的曝光系统及曝光方法 [P].

蒙道杨 ;

李阳 ;

金凤明 ;

杨鑫 ;

冯东洋 ;

刘风雷 .

中国专利 :CN121232338A ,2025-12-30

[5]

全息光栅曝光系统、全息光栅以及全息光栅成像光谱仪 [P].

朱钧 ;

谭益林 .

中国专利 :CN117629408A ,2024-03-01

[6]

光栅曝光系统及方法 [P].

赵家琦 ;

马子显 ;

严子深 ;

李屹 .

中国专利 :CN119556389A ,2025-03-04

[7]

光栅曝光系统及方法 [P].

赵家琦 ;

王珊 ;

严子深 ;

赵鹏 ;

李屹 .

中国专利 :CN120161552A ,2025-06-17

[8]

光栅干涉曝光系统 [P].

赵家琦 ;

王珊 ;

严子深 ;

李屹 .

中国专利 :CN221261503U ,2024-07-02

[9]

一种体全息光栅曝光系统 [P].

金戈 ;

杨鑫 ;

金凤明 ;

段守恒 ;

冯东洋 ;

刘风雷 .

中国专利 :CN119960269A ,2025-05-09

[10]

光栅干涉曝光系统及方法 [P].

赵家琦 ;

严子深 ;

赵鹏 ;

李屹 .

中国专利 :CN119511638A ,2025-02-25

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