共 50 条
[21]
[22]
[23]
[24]
[25]
[26]
[27]
[28]
[29]
[30]
偏振全息光栅的曝光系统及曝光方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111444331.0
申请日：
2021-11-30
公开(公告)号：
CN114236971A
公开(公告)日：
2022-03-25
发明(设计)人：
魏如东
饶轶
吾晓
赵恩
杨镇源
申请人：
申请人地址：
261031 山东省潍坊市高新技术产业开发区东方路268号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442
代理人：
周礼涛
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20211130 |
| 2022-03-25 | 公开 | 公开 |