一种光栅曝光系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510498199.3

申请日：

2025-04-21

公开(公告)号：

CN120195937A

公开(公告)日：

2025-06-24

发明(设计)人：

金戈金凤明段守恒杨鑫冯东洋刘风雷

申请人：

浙江水晶光电科技股份有限公司

申请人地址：

318000 浙江省台州市椒江区星星电子产业区A5号（洪家后高桥村）

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G02B5/18

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

徐彤

法律状态：

公开

国省代码：

浙江省台州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-24	公开	公开
2025-07-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250421

共 50 条

[1]

一种体全息光栅曝光系统 [P].

金戈 ;

杨鑫 ;

金凤明 ;

段守恒 ;

冯东洋 ;

刘风雷 .

中国专利 :CN119960269A ,2025-05-09

[2]

光栅干涉曝光系统 [P].

赵家琦 ;

王珊 ;

严子深 ;

李屹 .

中国专利 :CN221261503U ,2024-07-02

[3]

一种全息光栅的曝光系统 [P].

宋仁杰 ;

李瑶 ;

李彬彬 ;

张卓鹏 ;

魏一振 .

中国专利 :CN221977145U ,2024-11-08

[4]

干涉曝光系统、方法及光栅曝光系统 [P].

赵家琦 ;

刘志浩 ;

李屹 .

中国专利 :CN119758672A ,2025-04-04

[5]

低线密度光栅曝光系统 [P].

周红艳 ;

盛斌 ;

黄元申 ;

倪争技 ;

陈鹏 .

中国专利 :CN105607432A ,2016-05-25

[6]

偏振全息光栅的曝光系统及曝光方法 [P].

魏如东 ;

饶轶 ;

吾晓 ;

赵恩 ;

杨镇源 .

中国专利 :CN114236971A ,2022-03-25

[7]

光栅曝光系统及方法 [P].

赵家琦 ;

马子显 ;

严子深 ;

李屹 .

中国专利 :CN119556389A ,2025-03-04

[8]

光栅曝光系统及方法 [P].

赵家琦 ;

王珊 ;

严子深 ;

赵鹏 ;

李屹 .

中国专利 :CN120161552A ,2025-06-17

[9]

一种反射式全息光栅的曝光系统及曝光方法 [P].

蒙道杨 ;

李阳 ;

金凤明 ;

杨鑫 ;

冯东洋 ;

刘风雷 .

中国专利 :CN121232338A ,2025-12-30

[10]

大面积光栅曝光系统 [P].

赵家琦 ;

苏晓磊 ;

李屹 .

中国专利 :CN222105677U ,2024-12-03

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