低线密度光栅曝光系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610014216.2

申请日：

2016-01-11

公开(公告)号：

CN105607432A

公开(公告)日：

2016-05-25

发明(设计)人：

周红艳盛斌黄元申倪争技陈鹏

申请人：

申请人地址：

200093 上海市杨浦区军工路516号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B518

代理机构：

上海申汇专利代理有限公司 31001

代理人：

吴宝根

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-28	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20160525
2016-05-25	公开	公开

共 50 条

[1]

光栅干涉曝光系统 [P].

赵家琦 ;

王珊 ;

严子深 ;

李屹 .

中国专利 :CN221261503U ,2024-07-02

[2]

干涉曝光系统、方法及光栅曝光系统 [P].

赵家琦 ;

刘志浩 ;

李屹 .

中国专利 :CN119758672A ,2025-04-04

[3]

一种光栅曝光系统 [P].

金戈 ;

金凤明 ;

段守恒 ;

杨鑫 ;

冯东洋 ;

刘风雷 .

中国专利 :CN120195937A ,2025-06-24

[4]

偏振全息光栅的曝光系统及曝光方法 [P].

魏如东 ;

饶轶 ;

吾晓 ;

赵恩 ;

杨镇源 .

中国专利 :CN114236971A ,2022-03-25

[5]

光栅曝光系统及方法 [P].

赵家琦 ;

马子显 ;

严子深 ;

李屹 .

中国专利 :CN119556389A ,2025-03-04

[6]

光栅曝光系统及方法 [P].

赵家琦 ;

王珊 ;

严子深 ;

赵鹏 ;

李屹 .

中国专利 :CN120161552A ,2025-06-17

[7]

大面积光栅曝光系统 [P].

赵家琦 ;

苏晓磊 ;

李屹 .

中国专利 :CN222105677U ,2024-12-03

[8]

光栅干涉曝光系统及方法 [P].

赵家琦 ;

严子深 ;

赵鹏 ;

李屹 .

中国专利 :CN119511638A ,2025-02-25

[9]

一种全息光栅的曝光系统 [P].

宋仁杰 ;

李瑶 ;

李彬彬 ;

张卓鹏 ;

魏一振 .

中国专利 :CN221977145U ,2024-11-08

[10]

一种体全息光栅曝光系统 [P].

金戈 ;

杨鑫 ;

金凤明 ;

段守恒 ;

冯东洋 ;

刘风雷 .

中国专利 :CN119960269A ,2025-05-09

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