偏振全息光栅的曝光系统及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111444331.0

申请日：

2021-11-30

公开(公告)号：

CN114236971A

公开(公告)日：

2022-03-25

发明(设计)人：

魏如东饶轶吾晓赵恩杨镇源

申请人：

申请人地址：

261031 山东省潍坊市高新技术产业开发区东方路268号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442

代理人：

周礼涛

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20211130
2022-03-25	公开	公开

共 50 条

[41]

制作体全息光栅的曝光装置 [P].

胡德骄 ;

张金瑶 ;

杜有成 .

中国专利 :CN222850764U ,2025-05-09

[42]

偏振波前投影的大面积全息复制曝光系统 [P].

谭滔 ;

尹韶云 ;

胡超 ;

房启鹏 ;

陈建军 .

中国专利 :CN117806138A ,2024-04-02

[43]

一种曝光系统中曝光剂量的监控方法、曝光方法及其曝光系统 [P].

谢耀 ;

王丽萍 ;

周烽 ;

王君 ;

王辉 ;

郭本银 ;

金春水 .

中国专利 :CN105404100A ,2016-03-16

[44]

大面积光栅曝光系统 [P].

赵家琦 ;

苏晓磊 ;

李屹 .

中国专利 :CN222105677U ,2024-12-03

[45]

曝光系统 [P].

崔凤珍 ;

金龙焕 .

中国专利 :CN103119519B ,2013-05-22

[46]

曝光系统 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN108267828A ,2018-07-10

[47]

曝光系统 [P].

姜浩英 .

中国专利 :CN1204063A ,1999-01-06

[48]

曝光系统 [P].

王建勋 ;

张成宣 ;

程彦 ;

倪兴荣 ;

卢胜海 .

中国专利 :CN222800995U ,2025-04-25

[49]

曝光系统 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN107533956A ,2018-01-02

[50]

曝光系统 [P].

朴庸硕 ;

赵汉范 .

中国专利 :CN1229694C ,2003-10-29

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