共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
UV固化光源设备、UV固化设备以及光强实时测量方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411580375.X
申请日：
2024-11-06
公开(公告)号：
CN119489519A
公开(公告)日：
2025-02-21
发明(设计)人：
王攀
申请人：
拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司
申请人地址：
110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
IPC主分类号：
B29C35/08
IPC分类号：
H05B47/14
H05B47/11
G01J1/00
H01L21/67
H01L21/66
B29C37/00
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
胡林岭
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-12-30 | 授权 | 授权 |
| 2025-02-21 | 公开 | 公开 |
| 2025-03-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B29C 35/08申请日:20241106 |