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一种光强测量装置、UV固化设备及光强测量方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411009439.0
申请日：
2024-07-25
公开(公告)号：
CN118960950A
公开(公告)日：
2024-11-15
发明(设计)人：
王攀
申请人：
拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司
申请人地址：
110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
IPC主分类号：
G01J1/42
IPC分类号：
H01L21/67
H01L21/66
代理机构：
深圳市精英创新知识产权代理有限公司 44740
代理人：
涂年影
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01J 1/42申请日:20240725 |
| 2024-11-15 | 公开 | 公开 |