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一种碳化钽涂层石墨部件的制备方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411540559.3
申请日：
2024-10-31
公开(公告)号：
CN119506828A
公开(公告)日：
2025-02-25
发明(设计)人：
胡任浩 何少龙 朱世相 李翔翔 丁柳宁
申请人：
浙江六方半导体科技有限公司
申请人地址：
311800 浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道大侣西路36号中节能环保产业园6号楼3楼
IPC主分类号：
C23C16/32
IPC分类号：
C23C16/02
代理机构：
苏州浙慧达知识产权代理有限公司 32742
代理人：
张迪
法律状态：
公开
国省代码：
浙江省 绍兴市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-02-25 公开 公开
2025-03-14 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/32申请日:20241031
共 50 条
[1]
碳化钽涂层石墨部件及其制备方法 [P]. 
杨伟锋 ;
靳彩霞 ;
朱佰喜 ;
谢柳兵 ;
王然然 .
中国专利 :CN118290180A ,2024-07-05
[2]
碳化钽涂层石墨部件及其制备方法 [P]. 
杨伟锋 ;
靳彩霞 ;
朱佰喜 ;
谢柳兵 ;
王然然 .
中国专利 :CN118290180B ,2024-08-30
[3]
一种双层碳化钽涂层的制备方法及石墨部件 [P]. 
严寿亮 ;
徐所成 ;
王明华 ;
张振远 ;
袁志杰 ;
周杰 ;
胡堂正 ;
冯志强 .
中国专利 :CN117964403A ,2024-05-03
[4]
一种碳化钽涂层的制备方法 [P]. 
石林 ;
陈鹏飞 ;
罗胜益 ;
梁刚强 ;
杨倩倩 .
中国专利 :CN117185841B ,2025-08-15
[5]
碳化钽涂层的石墨基座及其制备方法 [P]. 
陈中武 ;
李加飞 ;
何怡 ;
冯加民 .
中国专利 :CN120943671A ,2025-11-14
[6]
碳化钽涂层及其制备方法、碳化钽涂层制品 [P]. 
刘恒昌 ;
薛运周 ;
何少龙 .
中国专利 :CN121109990A ,2025-12-12
[7]
含碳化钽涂层的石墨件的制备方法 [P]. 
林宇 ;
陈爱盛 ;
肖绍铸 ;
何少龙 .
中国专利 :CN119462207A ,2025-02-18
[8]
碳化钽涂层及其制备方法、碳化钽制品 [P]. 
欧阳鹏根 ;
胡建荣 ;
汪传勇 ;
唐永刚 ;
陈永峰 .
中国专利 :CN120229970B ,2025-10-10
[9]
碳化钽涂层及其制备方法、碳化钽制品 [P]. 
欧阳鹏根 ;
胡建荣 ;
汪传勇 ;
唐永刚 ;
陈永峰 .
中国专利 :CN120229970A ,2025-07-01
[10]
一种碳化钽涂层的制备方法 [P]. 
石林 ;
杨倩倩 .
中国专利 :CN117587361B ,2024-06-11
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